株式会社高田工業所(代表取締役社長：高田 寿一郎)は、装置事業における主力装置のひとつであり、SiCウエハやセラミックス基板などを高速・高品質に切断可能な超音波カッティング装置CSXシリーズの最新機種「CSX501」を開発いたしました。

今後、市場投入に向けた検証試験を進め、2020年12月から販売開始いたします。

CSX501　フルオートタイプ

1. 開発の背景

昨今、電子デバイス産業では5G通信をはじめとするIoTや自動運転化技術、EVなどが市場を牽引しており、5G通信の本格普及による環境の整備、データセンターの整備、電動化・自動運転化などによる車載電子部品数の増加、CO2排出量25％削減に向けた省エネへの取り組みなどにより、電子デバイスの需要が大幅に拡大しております。

今後、装置メーカーに対しては、製品の高品質を維持しつつ、スループット向上やランニングコスト低減、歩留まり向上および装置監視機能付加による遠隔サポート支援が期待されるものと思われます。

今回、このような市場ニーズに応えるため、高速切断を実現可能とする両端支持機構を備えた超音波スピンドルを踏襲し、生産性向上や新たな機能を追加した超音波カッティング装置「CSX501」を開発いたしました。

2. 製品の主な特長

(1)生産性の向上

搬送ラインを最適化し、搬送タクトを30％削減(当社比)。

(2)加工品質の向上

切断中にインラインでブレード刃先形状の調整が可能。

当社洗浄技術を踏襲し、切断加工時に発生するメタルバリの除去機能を搭載。

(3)操作性・機能性の向上

インターフェース刷新により操作性を向上。

(4)装置の状態監視機能

遠隔で装置状態を監視することを可能とし、不測のトラブルが発生した際に、原因究明を手助けし、平均復旧時間(MTTR)を短縮することが可能。タブレット端末で離れた場所からでも複数台の装置状態確認が可能。

(5)省フットプリントの実現

装置間口を20％縮小(当社比)し、コンパクトなデザインを実現。

3. 主な用途

・SiCウエハやアルミナ基板、AlN基板、ガラス基板、複合材などのダイシング

【会社概要】

名称　： 株式会社高田工業所

代表者： 代表取締役社長　高田 寿一郎

所在地： 北九州市八幡西区築地町1番1号

資本金： 36億4,235万円

URL　 ： https://www.takada.co.jp/

今後も当社は、低炭素化・省エネ化・高速通信につながる次世代エレクトロニクス製品分野をターゲットとした装置事業を展開し、社会貢献を行うとともに、当社の中核事業のひとつとして育成してまいります。