原子間力顕微鏡の世界的メーカーであるパーク・システムズ社は、原子間力顕微鏡(AFM)と白色光干渉計(WLI)を組み合わせた世界初の完全一体型システムであるPark NX-Hybrid WLIを2021年11月に発表しました。白色光干渉法は、非破壊・非接触の光学技術で、表面の2Dおよび3Dモデルを生成することができ、現在、半導体製造の品質保証に広く利用されています。パーク・システムズ社は、多くの実績を積み重ねた独自のAFM技術と汎用性の高いWLIの長所を組み合わせることで、Park NX-Hybrid WLIは他に類を見ないパワフルなツールとなります。

Park NX-Hybrid WLI 本体

「Park NX-Hybrid WLIは、大面積のスキャニングとナノスケールの計測の両方を必要とする半導体アプリケーションのために開発された総合的な補完的計測ソリューションです。」と、パーク・システムズ社 プロダクト・マーケティングの常務取締役リチャード・リー氏はコメントします。また、「デバイスメーカーのナノ計測に対する要求が高まる中、革新的なデザインを持ち合わせるWLIとAFMの統合は、顧客主導のソリューションを提供するという弊社のコミットメントを強調しています。」とも述べました。

統合システムに搭載されているPark AFMは、半導体関連デバイス、製造業のインライン品質保証、研究開発のために業界をリードする自動化原子間力顕微鏡 Park NX-Waferをベースにしています。AFM／WLIシステムを組み合わせることで、WLIモジュールによる大面積のハイスループットイメージングと、AFMによるサブオングストロームの高さ分解能でのナノスケール計測が可能になります。高分解能AFMレビューのための欠陥部位の高速なローカリゼーションによって可能になった高速の「ホットスポット検出」を用いることで、基準サンプルとターゲットサンプル領域の画像を比較し、パターン構造の欠陥を検出することができます。

Park WLIモジュールは、白色光干渉計(WLI)と位相シフト干渉法(PSI)の両モードに対応しています。 PSIモードは、電動式リニア対物レンズチェンジャーで2枚本の対物レンズを自動的に交換することが可能で、2.5倍、10倍、20倍、50倍の対物レンズ倍率に対応しており、100倍のCMOSカメラを搭載しています。

Park NX-Hybrid WLIは、2つの補完的な技術を融合させた総合的な自動計測システムであり、2つのシステムを別々に使用するよりも大幅にコストを削減できます。

「Park NX-Hybrid WLIは、従来のスタンドアロン型のWLIやAFMシステムとは異なり、より多くのことをシームレスに実現し、所有コストを大幅に削減した、完全にホリスティックな統合ツールです。」と、Park AmericasのGeneral ManagerであるStefan Kaemmer博士は述べています。「2つのツールを同じマウントに設置し、1つのEFEMで供給することで、システムは完全に統合された交換可能なデータを作成し、“ファブ・フットプリント”を削減し、より広いエリアにおいて対するスループットを向上させます。」と述べました。

Park NX-Hybrid WLIは、高度な化学的機械研磨(CMP)の計測とモニタリング、ディッシング、エロージョン、エッジオーバーエロージョン(EOE)、膜厚、ピラー高さ、ホール構造、ダイ間比較など、WLIだけでは実現できないはるかに高い解像度と精度を必要とするアプリケーションのために開発されました。また、TSV(Through Silicon Via)やマイクロバンプの測定、RDL(Redistributed Layer)の測定、フォトレジスト残渣の検出など、高度なパッケージングアプリケーションにも有効です。

新製品のPark NX-Hybridは、パーク・システムズが今年リリースを予定している一連のハイブリッド計測製品の一部であり、産業および学術研究の幅広い用途で原子間力顕微鏡の利用を強化、向上させます。

詳しくは、 https://www.parksystems.co.jp/hybrid-wli をご覧ください。

■パーク・システムズについて

パーク・システムズは、化学、材料、物理、ライフサイエンス、半導体、データストレージ業界の研究者や技術者向けに製品を提供しており、原子間力顕微鏡(AFM)システムのメーカーとして世界をリードする急成長を遂げています。私たちの使命は、世界で最も差し迫った問題を解決し、科学的発見と工学的革新の限界を押し広げる科学者とエンジニアのために、ナノスケールの進歩を可能にすることです。パーク・システムズの顧客には、アジア、ヨーロッパ、南北アメリカの世界トップ20の半導体企業や国立研究機関のほとんどが含まれています。パーク・システムズは、韓国の水原に本社を置き、米国カリフォルニア州サンタクララ、ドイツ・マンハイム、フランス・パリ、中国・北京、日本・東京、インド、シンガポール、メキシコシティに地域本部を置く、韓国証券取引所(KOSDAQ)に上場している企業です。パーク・システムズの詳細につきましては https://www.parksystems.co.jp をご覧ください。