新受託分析サービス 年末年始一斉スタート ～最新鋭の電子顕微鏡など分析装置4種を導入～
受託分析を行う一般財団法人材料科学技術振興財団(本部：東京都世田谷区、理事長：沖村 憲樹、以下 MST)は、2013年12月から2014年2月にかけて4つの新サービスをスタートしますので、下記のとおりお知らせいたします。
なお、詳細な分析データは2013年12月4日(水)から6日(金)に幕張メッセで開催される「セミコン・ジャパン 2013」MSTブース(6A-508)にてパネル展示いたします。
■概要
MSTでは2013年度に新規に導入した装置(Csコレクタ付TEM／STEM・SMM・SEM・AES)を用いて新たな分析サービスを開始いたします。これまで主にナノ領域での構造・組成評価が重要となる半導体の研究開発に携わる皆様にご利用頂いてまいりましたが、近年の更なる分解能向上・定量評価のニーズに応えるため、新たに設備投資を行いました。
(1) Csコレクタ付透過型電子顕微鏡(TEM／STEM)
原子分解能レベルでの構造観察・元素分析サービス：2014年2月サービス開始
電子顕微鏡の分解能の飛躍的な向上と、元素分析装置の感度改善を組み合わせることで、原子分解能レベルでの元素分布評価が可能となりました。とりわけ最先端の極微細デバイスや化合物結晶材料などの構造評価に適したサービスです。
(2) 走査マイクロ波顕微鏡(SMM)
半導体デバイス中のキャリア濃度分布評価サービス：2013年12月サービス開始
SMMとは走査型プローブ顕微鏡の一種で、研磨して作成したデバイス断面で測定を行います。既知の2箇所のキャリア濃度を指定することで、デバイス中のキャリア濃度に応じた分布像を得ることができます。
(3) 走査型電子顕微鏡(SEM)
ナノオーダー表面形状の高精細観察サービス：2014年2月サービス開始
100Vレベルの極低加速電圧においても高い空間分解能でSEM観察を行います。主にレジストやポリマーなど、融点が低く測定によって変形しやすい材料でも、ありのままの構造を評価することができます。
(4) オージェ電子分光装置(AES)
高空間分解能最表面の元素分析サービス：2014年2月サービス開始
8nm程度の高い空間分解能でAES分析を行います。異物検査装置で見つかった数十nmの異常箇所であっても、最表面からAES分析を行うことで短い納期で元素分析結果報告を可能とします。
■「セミコン・ジャパン 2013」開催概要
会期 ： 2013年12月4日(水)～6日(金) 10:00～17:00
会場 ： 幕張メッセ
MST出展場所： ホール6 6A-508
URL ： http://www.semiconjapan.org/ja/
■本サービスに関するお客様からのお問い合わせ先
一般財団法人材料科学技術振興財団
Tel：03-3749-2525
■会社概要
商号 ： 一般財団法人材料科学技術振興財団
代表者 ： 理事長 沖村 憲樹
所在地 ： 〒157-0067 東京都世田谷区喜多見1-18-6
設立 ： 1984年8月
事業内容： 材料の受託分析サービス、研究助成、学会支援等の公益事業
URL ： http://www.mst.or.jp/
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