株式会社マイセック(本社：愛知県名古屋市、代表取締役社長：間宮 康博)は、半導体製造工程などで使用される高温ガスチューブヒーターを開発し、2025年1月から販売を開始する予定です。

昨今、人工知能(AI)の急速な普及に伴い、AI向け半導体の製造に対応したガスチューブヒーターの需要が増大しています。従来の半導体製造工程では、200℃の温度制御が必要でしたが、AI用次世代半導体の製造工程では、より高温な250℃での温度制御が求められます。マイセックは、AI用次世代半導体の製造工程に対応し、さらに均熱性に優れた高温ガスチューブヒーターを開発しました。

高温ガスチューブヒーター

高温ガスの移送工程では、これまで配管に各種ヒーターを後付けする方法が主流でしたが、この方式では取付けのばらつきにより、均熱性の確保が難しいという課題がありました。しかし、今回開発した高温ガスチューブヒーターは、新たに開発された最高使用温度300℃の電気ヒーターをフレキシブル配管に直接編み込むことで、熱伝導性を向上させ、配管内部の温度ムラを低減することに成功しました。

均熱性の確保は、配管内のガスの結晶化防止にも貢献し、生産効率の向上に繋がります。ヒーターを配管に直接編み込む技術は、実用新案権(実用新案登録第3209680号)を取得したマイセック独自の技術です。この製法により、従来にない250℃という高温での温度制御と均熱性の確保に成功しました。

ヒーター編込み写真

■省スペース設計・低表面温度を実現

軽量で断熱性に優れた断熱材のエアロゲルを使用することで、断熱効果を向上させ、断熱材を含めたチューブ外径35mmに抑え、従来の後付けヒーターよりも省スペース設計に成功しました。また、チューブヒーターの表面温度を80℃以下に抑えることで、他設備への熱影響の低減にも貢献しています。

温度テストグラフ

本製品は、12月11日(水)から13日(金)に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2024」に初出展します。

マイセックは、ヒーター技術を通じて、AIの発展を支え、社会の進歩に貢献してまいります。

■製品仕様

電圧　　　　　　：100[V］

電力　　　　　　：250[W]

最高使用温度　　：300[℃]

寸法　　　　　　：1.56m

販売価格　　　　：オープン価格

実用新案登録番号：3209680

■会社概要

商号　　　： 株式会社マイセック

代表　　　： 代表取締役社長　間宮 康博

本社営業所： 〒451-0072　愛知県名古屋市西区笠取町三丁目54番地

SE事業部　： 〒480-0202　愛知県西春日井郡豊山町豊場字志水80番地

設立　　　： 昭和50年4月14日

資本金　　： 1,600万円

URL　　　 ： https://www.misec.co.jp