レティクル／マスク異物検査装置「PD Xpadion EX」を発売

～異物検出・除去を1台で完結、半導体製造プロセスの効率化・歩留まり向上を徹底追及～

2024.03.18 11:00

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株式会社堀場製作所(本社：京都市南区吉祥院宮ノ東町2、代表取締役社長：足立正之、以下当社)は、レティクル／マスク異物検査装置「PD Xpadion EX」を3月18日に発売します。

半導体製造の露光工程に欠かせない異物検査装置の「PD」シリーズは、1984年の発売以来、お客様のニーズに応えながら進化を続け、今年で40年の節目を迎えました。

新製品「PD Xpadion EX」には、好評をいただいている従来機「PD Xpadion」をベースに異物除去機能を搭載し、検出から除去まで1台で完結することが可能となりました。さらに、レティクル／マスクの自動搬送に対応するユニットを自社開発し、半導体製造プロセスの効率化と歩留まり向上に貢献します。

半導体産業における分析・計測・制御ニーズは、これまでにないスピードで高度化・多様化しています。「PD Xpadion EX」は、異物の成分分析やペリクル※1の膜厚測定などもワンストップで行うことのできる機能拡張に取り組んでおり、今後も新たな可能性を提示してまいります。

【開発の背景】

半導体の回路を焼き付ける露光工程では、レティクルやマスクという回路が描かれた原版を使ってウエハー上に回路を転写します。レティクルに埃などの異物が付着していると品質不良を起こし歩留まりが低下してしまうため、異物検査装置が用いられます。近年、EUVなどの技術進展を背景に高まる検査の要求レベルに応えるため、2021年に「PD Xpadion」を発売しました。

一方で、検出した異物を取り除くには、レティクルやマスクを取り出し別の装置へ搬送する必要がありました。その過程で新たな異物が付着するリスクの低減や、製造プロセスの効率化、設置面積の低減といった幅広い要望から装置の一体化が求められており、本製品の開発に至りました。

PD Xpadion EX

【製品の特長】

1. 異物検出・除去工程の一体化により、作業効率・歩留まりを向上

95％以上の異物除去率※2を誇る当社のレティクル／マスク自動異物除去装置「RP-1」の機能を「PD Xpadion」と一体化。異物の検出から除去まで自動で行うことを可能としました。また、レティクル／マスクが格納されたケースを2式同時にセットできるマルチポートも備えており、連続的に異物検出・除去を行うことができます。

2. 自動搬送装置との連携により、製造プロセスの自動化・省人化を促進

半導体製造工場内のOHT(Overhead Hoist Transport：搬送物を吊り下げた状態で保持し、天井に設置された軌道レールを走行する自動搬送装置)との連携に必要とされるEFEM(Equipment Front End Module：レティクル／マスクをOHTと異物検査装置の間で受け渡すユニット)を自社開発しました。お客様が求める仕様へ柔軟に対応し、生産性向上や人手不足の解消、製造エリアのスリム化を図るために重要とされる自動化・省人化に貢献します。